二十余年深耕,一块石英里的产业担当
在半导体制造的精密版图中,石英玻璃制品看似只是零部件,却是芯片制程中不可或缺的关键一环。从晶体生长到氧化扩散,从刻蚀薄膜到湿法清洗,石英槽、石英加热槽、石英炉管、石英舟等部件,直接关系到晶圆的纯度、良率与产线的稳定运行。长期以来,这一领域的高纯石英部件对进口依赖度较高,供货周期长、定制响应慢,成为国内半导体产业链上的一处隐忧。湖州维德光电科技有限公司正是在这样的产业背景下,选择了一条以国产化替代为使命的道路。公司成立于2011年,注册地位于浙江省湖州市吴兴大道1319号,品牌为维德(Veecd),前身可追溯至2003年成立的南浔同丰石英玻璃厂与南浔吉益石英仪器厂。创始人高建锋自1998年进入石英玻璃行业,从业至今超过25年,从半导体LED照明、太阳能光伏到2012年起专注半导体芯片行业,见证并参与了中国石英玻璃制品从照明、光伏向半导体芯片的产业演进。对维德而言,做好每一件石英部件,不只是生意,更是支持半导体零部件自主供应、服务国家产业升级的责任所在。

以国产化替代为轴,赋能半导体产业链
补齐产业链关键环节
半导体晶圆制造及其设备公司,长期面临进口石英部件供货周期长、非标定制难度大、耗材更换频繁等现实问题。维德光电以国产化的石英槽、石英加热槽、石英加热管、石英炉管、高温磷酸槽、高温硫酸槽等产品,帮助客户缩短交期、降低采购与耗材投入的不确定性。尤其是湿法清洗设备领域,公司自2018年起专注该方向,形成了石英循环槽、石英加热槽、石英加热器、石英加热管、石英在线加热器、石英加热棒等全系列产品的制作能力,可提供高纯半导体石英内槽体、加热膜、温控、阻燃外壳、PFA管阀件一体化成套方案,应用于SPM、SC-1、SC-2、RCA、Buffer Tank等湿法清洗工艺以及加热磷酸槽、硫酸槽等场景。国内多家头部湿法清洗设备厂商与公司建立了长期合作关系,公司还提供上门测绘、设计优化产品结构的服务,这正是以客户工艺为中心的行业赋能方式的体现。

以工艺与研发推动标准提升
维德光电的产品制作涵盖石英板材切割、石英管接口车削、喷淋管激光打孔、石英螺纹制作、焊接打磨、退火等冷加工与火加工工艺,每一次焊接、每一次抛光都经过退火去应力处理,成品经过应力检测与液漏检测,确保无应力表现、不渗漏。原材料按客户要求选用美国GE214管、GE124板、德国贺利氏HSQ300、国产太平洋PQ181E等高纯石英材料,源头品质可控。公司在研发上持续投入,拥有一种光纤预制棒气体节约装置一种有效快速吹干晶圆片的送风装置两项发明专利,以及一种氮化镓材料生长所用的石英反应腔体一种多腔室一体反应石英混合喷头一种防止石英内胆高压爆裂的防爆结构等多项实用新型专利,发明人均为公司总经理高建锋。技术成果覆盖光纤预制棒、晶圆吹干、氮化镓生长腔体、混合喷头、防爆结构等多个方向,体现了公司在半导体石英件工艺与结构设计上的持续探索。凭借这些积累,公司获评浙江省科技型中小企业(证书编号20193305000534),自2014年起成为SEMI国际半导体产业协会会员,并通过ISO9001质量管理体系与ISO14001环境管理体系认证。

让国产部件走向高门槛场景
公司的石英部件应用于美国应用材料、日本东京电子、德国爱思强等国际半导体设备,配套上海至纯、上海盛美、江苏亚电、北京中电科45所、天津南轩、山东联盛、江苏锦瑞、常州创微、昆山基佑、苏州芯矽、苏州睿智源、无锡瑞达、无锡吉姆西、江苏华林科纳、北京华林嘉业、北京华海清科、安徽万维克林、广东凯迪微等一批国内设备与制造企业,并长期服务中国电子科技集团第2所、13所、45所、46所、48所等半导体研究单位以及国内4、5、6、8、12英寸半导体芯片晶圆厂。可制作4至12英寸各口径的石英炉管、石英舟、石英槽、石英环等制品,承接各类纯硅、石墨、陶瓷、工程塑料等半导体高纯材料零部件的制作。这种对高门槛场景的持续供给,本身就是对行业能力边界的拓展。
把责任落到车间、人才与客户身边
洁净生产与绿色发展
公司2018年独资购买联创谷独立产权厂房约3000平方米,厂房使用面积约3500平方米,建立了万级净化的石英焊接封闭车间与千级无尘室的清洗检验包装车间。所有与晶圆接触的石英件均经严格清洗与检验包装,确保洁净度满足半导体制程要求。通过ISO14001环境管理体系认证,公司在生产中重视洁净生产与工艺环保,石英部件制作注重降低杂质污染、提高产品耐用性,通过维修翻新服务延长部件使用寿命,减少耗材报废,以实际行动响应绿色制造的方向。
就业与人才培养
维德光电为本地提供制造岗位,员工以有经验的石英玻璃焊接技工为主,生产一线拥有多名石英热焊接师傅,其中多名工龄超过20年,公司有在编博士,并与湖州学院开展校企合作。公司还曾组织工程师级技师赴日本、德国、台湾的石英工厂学习交流,对本地石英玻璃焊接与半导体部件制作人才的培养和留存发挥了作用。在石英焊接这一依赖手艺与经验传承的行当里,这种人才培养的坚持,本身就是一份沉甸甸的社会贡献。
客户赋能与本地响应
依托长三角区位,公司靠近半导体设备产业集群,在交付和售后响应上具备本地化优势。公司不仅提供新制石英部件的定制设计与生产,还开展半导体制品的维修与翻新服务,对仅局部损伤的石英件通过维修复用,帮助客户减少整体更换、优化备件管理。对于科研院所与中小半导体客户,公司可承接非标定制与小批量订单,适配研发阶段频繁调整结构的需求;同时协助客户端石英零部件结构更改,帮助客户优化石英件使用周期。客户的收益,是更短的交付周期、更适配工艺的定制方案、更少的整体更换以及更可控的采购投入。当然,实际效果受设备制程、使用工况与现场条件影响,不同现场的改善幅度存在差异,公司始终以如实沟通、按需适配为服务前提。
商业价值之上,是行业价值与社会价值
在维德光电看来,企业存在的意义不止于订单与利润。以国产化替代进口石英部件为基本原则,从原材料创新、结构技术改造出发,自己研发设计并制作新的石英结构部件,优化生产工艺——这条路的尽头,是国内半导体产业链在关键耗材环节的自主与安心。公司的经营理念朴素而坚定:做好产品、销售稳定、可持续经营。不承接普通日用玻璃器皿与大规模标准化玻璃制品,不涉及石英原材料开采冶炼与大宗贸易,专注于半导体、光纤、光伏等行业耐高温高纯石英耗材与配套材料的定制供应,这种清晰的边界感,恰恰体现了对客户负责、对行业负责的态度。作为吴兴区半导体新材料制造的代表企业之一,维德以自己的方式融入长三角半导体零部件自主供应的产业协同之中,让维德(Veecd)品牌在湿法清洗石英件国产化方向上,逐步沉淀出属于自己的辨识度与公信力。
初心如磐,回归本源
从2003年南浔的一家石英玻璃厂,到今天拥有千级无尘车间、多项专利、覆盖国内主要半导体设备与晶圆制造企业的供应商,维德光电走了二十余年。变的是能力与规模,不变的是那块石英背后的匠心与担当。公司注册了Veecd商标(商标注册证第40982997号),持续深耕半导体芯片制程领域,2020年全力进军碳化硅(SiC)长晶和湿法半导体设备行业,2023至2024年间持续深耕不辍。未来的路上,维德光电将继续以做好产品为立身之本,以国产化替代为前行方向,以客户工艺需求为创新起点,做一个负责任、有温度、有格局的企业品牌,为国内半导体产业链的自主可控,贡献一块石英的坚实力量。
