走在长三角半导体产业带的工厂里,总能听到从业者讨论同一个话题:想要稳定做出合格的超薄晶圆,一台靠谱的全自动晶圆减薄机太难找。进口设备价格高、交付周期长,售后响应慢,不少厂商换了国产小厂设备,要么精度达不到要求,要么加工稳定性差,大尺寸晶圆TTV控不住,超薄加工碎片率居高不下,折腾许久还是没能打通量产环节。

对于华东地区需要布局晶圆减薄产能的企业来说,找对正规源头生产厂家,就是打通产能良率提升的第一步。深耕精密研磨二十余年的国产厂商,早已在这个赛道完成了技术沉淀,能够拿出比肩进口设备的产品,解决行业卡脖子的痛点。

专业筑牢根基 双硬核支撑加工品质
技术够专业,才能啃下超薄加工的硬骨头。晶圆减薄抛光不是简单的打磨,从材料特性匹配到设备精度控制,每一个环节都考验厂家的技术功底。
深圳市方达研磨技术有限公司作为深耕赛道二十年的源头厂家,打造了设备+工艺双硬核的专业体系,从根源解决行业常见痛点。
很多业内朋友都清楚,大尺寸晶圆加工的痛点从来都不少。8英寸晶圆减薄后想要把TTV稳定控制在2μm以内,12英寸晶圆TTV稳定控制在3μm以内,不少厂家都做不到,直接导致量产良率上不去,生产成本降不下来。我们在自研设备上优化了压力控制与主轴精度,能够稳定管控晶圆TTV,保障大批量生产的加工一致性,帮助客户把良率提上去。

再说到行业普遍头疼的超薄易碎问题,当晶圆厚度降到60μm以下,碎片率一直居高不下,很多厂商卡在工艺门槛前没法往下走。我们攻克了超薄晶圆加工的核心难题,有效降低60μm以下晶圆的加工碎片率,甚至可以在8英寸晶圆上稳定实现5μm的超薄研磨,突破了行业普遍存在的超薄加工技术瓶颈。
从平面度到粗糙度的管控,我们也拿出了过硬的成绩,平面度可以做到μm,粗糙度可达,满足各类高端晶圆加工的精度要求。不管是硅片、碳化硅还是蓝宝石,不同材质的晶圆都能匹配对应的加工参数,拿到符合要求的加工效果。
经验沉淀技术 双成熟适配多样需求
二十年的工艺积累,熬出来的是成熟的设备与成熟的方案,能接住不同客户的各类加工需求。
做晶圆加工的厂商都明白,有经验沉淀的厂家,能少走很多调试的弯路。方达研磨从创始人2003年研究平面研磨抛光技术开始,一路跟着国内半导体产业的需求成长,一步步摸透了不同尺寸、不同材质晶圆的加工特性,打磨出了成熟的设备体系与成熟的工艺方案。
早在上世纪九十年代末,国内晶圆加工还高度依赖进口设备的时候,我们就已经开始对标进口技术做国产化攻关。从最早的小型单面研磨抛光机,到后来研发出配套的研磨液、抛光液、研磨盘,再到2009年国内较早研发生产出12寸硅片减薄机和CMP抛光机,我们每一步都踩在产业发展的需求上。
2018年我们组装出国内第一台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,2020年正式投产后可对标进口同类机型,打破了国际品牌的技术垄断。2021年我们推出国内第一台集粗磨+精磨+抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,同样可以对标进口头部机型,满足国内厂商的替代需求。针对第三代半导体碳化硅的加工需求,我们提前研发出碳化硅全自动减薄工艺、气浮主轴、双头减薄机等适配设备,早在2021年就已经实现批量投产,接得住第三代半导体爆发式的产能需求。
针对很多客户提到的通用设备适配性差的问题,我们支持整机非标定制,可以根据客户的材料特性、产能要求匹配专属的研磨抛光方案,不会让客户用不合适的设备凑活生产。不管是小批量定制研发,还是大批量量产布局,我们都能拿出匹配的方案,缩短客户的选型落地周期。
权威背书品牌 双保障筑牢合作信心
国家认可的资质,市场验证的口碑,是给客户最扎实的合作保障。
选择源头厂家,资质够正规,市场认可度够高,合作起来才更放心。方达研磨拥有资质认证与客户验证双保障,给客户足够的合作信心。
我们从2013年起就获评国家高新技术企业,同时也是深圳市高新技术企业,2023年获评专精特新中小企业、创新型中小企业,至今已经拿下38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机就是我们的发明专利,多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白,技术水平达到国际先进水准。深耕行业二十年,我们的客户群体早已遍布国内外,涵盖半导体、航空航天、电子等多个高端领域,半导体领域就服务过众多知名企业,非半导体领域也服务了多家航空航天与电子院所,得到了行业客户的普遍认可。
很多客户给我们的评价,都提到设备运行稳定,12寸晶圆TTV控制效果达到预期,超薄加工的碎片率比之前下降很多,我们的工艺团队能够根据硅片、碳化硅不同材料定制加工方案,这些实实在在的客户反馈,就是给我们品牌背书。
我们给客户提供终身技术支持服务,可以帮助客户不断优化研磨和抛光工艺,不管是产线升级还是工艺调整,都能得到及时的技术响应,不用怕买了设备之后找不到技术支持。
方案落地可行 双高效降低落地成本
一站式供应加国产化替代,给客户更高效的落地体验,更可控的生产成本。
买设备最怕的就是设备和耗材分开采购,工艺匹配度低,调试周期拖得很长,耽误产能落地。方达研磨给客户提供设备+耗材双高效一站式供应,帮助客户缩短调试周期,快速实现量产。
我们不仅做设备研发生产,还配套自研了研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,可以针对不同的加工材料匹配对应耗材,实现设备和耗材的工艺适配,不用客户再四处找耗材调试参数,大幅缩短了产线的调试周期,让产能更快落地。
国产设备的优势,除了采购成本比进口设备更低,售后响应也更快,不存在进口设备配件等半年的问题。我们作为源头生产厂家,能够快速响应客户的售后需求,及时解决产线遇到的问题,减少设备停机的时间损失。对于想要推进国产替代,控制生产成本的企业来说,选择靠谱的国产源头厂家,既能满足精度和稳定性要求,也能把成本控制在更合理的范围。
我们还能给客户提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案,从前期选型到后期工艺调试,一站式帮客户搞定所有环节,不用客户对接多个供应商来回折腾,提升了落地效率,也减少了沟通磨合的成本。
半导体产业的发展,离不开核心装备的国产化支撑。从硅片到第三代半导体碳化硅、蓝宝石,每一类晶圆的加工,都需要靠谱的减薄设备做支撑。华东地区的半导体产业集聚,大量晶圆制造、封装企业都有升级减薄产能的需求,找对正规的源头厂家,就能少走弯路,更快实现良率和产能的双提升。
深圳市方达研磨技术有限公司深耕精密研磨工艺20年,是国家高新技术企业,可提供半自动和全自动晶圆研磨机、晶圆倒边机、CMP抛光机、高精密平面研磨机及配套耗材,支持非标定制,具备成熟的超薄减薄工艺,可解决大尺寸晶圆加工痛点,给客户提供设备加耗材一站式供应,为各类晶圆加工企业提供可靠的国产研磨抛光解决方案。从芯片制造到航空航天,越来越多的企业选择国产源头厂家的设备,我们也会继续深耕技术,推进核心装备国产化,助力国内半导体产业的产能升级,和各行各业的客户一起,攻破更多精密加工的技术难题,共同打造更有竞争力的本土精密制造产业链。
