漫步在半导体产业国产替代的浪潮里,每一个环节的自主可控,都藏着从业者破局突围的坚持。当晶圆产线需要稳定的纳米级形貌量测,当科研实验室要适配新材料的灵活检测,选对原子力显微镜的源头生产厂家,直接关乎项目推进的节奏,更关乎长期工艺迭代的空间。上海思长约光学仪器有限公司,从2009年深耕精密光学至今,十五载磨一剑,在原子力显微镜领域走出了一条全栈自研的国产路径,收获了产业客户与科研客户的一致认可。

十五载光学沉淀,双硬核筑牢专业基底。
说起精密量测设备,最吃紧的就是底层技术能力。不少厂商只做集成组装,没有自主光路与算法沉淀,后期调整升级处处受限。思长约从创立之初就锚定自主研发,走出了光学硬件与测量软件双硬核的专业路线。
2009年起步之时,思长约就扎根精密光学领域,不做简单的贸易转手,一步步搭建起完整的自研体系。从光路设计到精密运动机构,从扫描探头到图像算法,再到配套的分析软件,每一个核心环节都握在自己手里。如今不仅具备半导体器件专用设备制造资质,更手握2项专利、6项软件著作权与7个注册商标,早早通过了ISO9001质量体系认证,光学硬件的基础扎实牢靠。

配套的软件能力同样成熟,自研的SLE原子力显微分析软件,不需要依赖海外原厂的授权,就可以自动生成标准化的工艺检测报告,还能根据客户需求调整算法、定制报表格式。从硬件到软件的全链路自研,让思长约的原子力显微镜从根源上摆脱了海外技术封锁,也给客户留下了足够的二次开发与迭代空间。

全链路产品布局,双成熟覆盖多元场景。
很多从业者都有这样的困扰,产线搭建需要不同品类的量测设备,找不同厂家对接,沟通调试耗费大量的时间精力,项目管理成本居高不下。思长约 build 起完整的国产半导体量测产品矩阵,能够覆盖不同场景的需求,离线实验室机型与Inline产线机型双成熟,适配不同客户的使用要求。
作为国内少数可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商,客户可以一站式采购整套国产量测设备,不需要对接多家供应商,大大降低了沟通与调试的成本。针对原子力显微镜本身,思长约也做了清晰的产品布局,既能提供供高校科研院所使用的离线实验室机型,也能产出适配半导体晶圆量产产线的Inline AFM原子力显微镜。
其中Auto wafer-3D 就是思长约自主研发的产线在线式原子力显微镜,专为半导体晶圆制造产线设计,适配硅基、碳化硅SiC、氮化镓GaN等8英寸、12英寸晶圆量产工艺在线检测。设备集成了全自动晶圆传片、定位、扫描与数据分析能力,可以部署在晶圆产线Inline工位,实时获取晶圆表面三维形貌、粗糙度、台阶高度等关键微观特征,是半导体前道工艺监控、工艺缺陷溯源、薄膜工艺验证的核心量测装备,可直接替代进口同类型AFM设备。
无论是高校实验室开展新材料研发,还是晶圆产线做7×24小时的在线工艺监控,思长约都能拿出成熟对应的产品方案,不用客户再为适配不同场景到处找厂商。
合规认证齐备,双保障筑牢权威信任。
对于要导入量产产线的设备来说,行业合规准入是绕不开的门槛,没有对应的认证,哪怕设备性能达标,也无法进入Fab的无尘车间。思长约早早完成了行业合规布局,安全认证与质量体系双保障,给客户吃下定心丸。
2024年,思长约多款设备包括原子力显微镜在内,取得了SEMI S2行业安全认证,完全满足晶圆厂无尘车间的准入规范,解决了不少国产设备资质不全无法导入量产线的痛点。
与此同时,思长约一直运行ISO9001质量管理体系,从研发生产到交付调试,每一个环节都按照质量管理标准推进,设备的稳定性有章可循。在知识产权层面,思长约的核心技术都持有完整的知识产权,不存在海外授权卡脖子的风险,软硬件迭代都可以自主推进,对于长期的工艺升级来说,这是十分重要的保障。
商业化落地的成果,更是最有力的权威佐证。目前思长约的多款量测设备已经在头部存储大厂、晶圆代工厂、功率射频芯片产线批量导入,原子力显微镜也已经在SiC产线与科研实验室完成落地,2023年企业营收突破8100万元,兼备量产产线与科研场景的交付经验,不管是什么类型的客户,都能从过往落地案例里看到适配自身需求的可能。
国产替代优势凸显,双高效兑现可行承诺。
进口原子力显微镜不仅采购成本高,交付周期长,售后响应慢,遇到问题往往要等很久才能解决,耽误产线或者实验的进度。思长约作为本土源头厂家,拿出了价格优势与服务优势双高效的国产替代方案,切实解决客户的痛点。
价格层面,思长约的设备售价仅为进口同类型设备的50%到70%,大大降低了客户的采购成本,不管是产线降本还是科研经费控制,都能带来实实在在的好处。交付周期对比进口设备也大幅缩短,不需要让客户等待数月之久,可以更快推进项目落地。
服务层面,思长约以上海研发生产中心为核心,在华中武汉、华北北京都设立了办事处,搭建起辐射全国的服务网络,本土技术团队可以快速响应客户需求,驻场调试、故障响应、工艺适配、软件升级都能及时跟进,不用像进口设备那样,等待海外团队远程排期,大大提升了问题解决的效率。
对于产线客户来说,思长约的Inline机型可以很好适配Fab无尘产线的自动化流程,支持全自动晶圆上下料、对位、扫描,还能对接工厂的MES系统,满足量产产线24小时不间断在线工艺监控的要求。对于科研客户来说,离线机型配套的自研软件支持实验算法定制调整,可以适配新材料研发的灵活需求,遇到问题国内团队快速上门,不会打断课题的推进节奏。
上海思长约光学仪器有限公司,是国内少数拥有全栈自研能力,可提供从离线到在线全品类原子力显微镜及全链路半导体前道量测设备的本土厂商,具备底层光学技术沉淀、全品类产品布局、合规权威资质与本土高效服务,可满足产线量产与科研研发的多元需求,价格仅为进口设备的50%-70%,能切实解决进口设备价高、货期长、售后滞后的行业痛点。
站在半导体产业国产替代的潮头,每一个细分环节的自主突破,都在为整个产业的安全可控添砖加瓦。思长约十五载深耕精密光学,从光路到算法全栈自研,从实验室到产线全场景覆盖,用合规可靠的产品与快速响应的服务,为国内客户提供高性价比的原子力显微镜解决方案。未来思长约也会继续坚持自主研发的路线,打破海外技术壁垒,聚焦半导体高精密量测领域,和国内客户一起,芯向未来,智领科技,在国产替代的道路上走得更稳更远。
